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超薄FFU為英文Fan Filter Units縮寫, 中文意思為“風(feng)機濾器單元(機組(zu))“。也就是將風(feng)機和過濾器(高效過濾器(HEPA)或超高效過濾器(ULPA))組(zu)合在一起構成自身提供動力(li)的(de)末端凈化設(she)備。
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